RTP快速退火炉在使用以及维修中需要注意哪些事项？

　　RTP快速退火炉操作便捷，电热元件采用红外灯管，升温速度快，节省时间，滑动法兰使装卸样品过程简化，方便操作，可快速得到实验结果，取消了反复的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成的损坏。设备拥有快的升温速率500℃/S，而且在烧结工艺运行完结，直接将试样在高温区取出。实现物理状态下的快速降温。腔体采用内管进气，外管出气的气路结构，使得反应气氛与加工样品充分而均匀地接触。是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备。测温元件直接和试样接触，保证试样温度的准确性。

　　使用注意事项：

　　1、炉管内气压不可高于0.02MPa。

　　2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全。

　　3、石英管的长时间使用温度<1100℃。

　　4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

　　5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

　　6、如对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。

RTP快速退火炉维修注意事项：

　　1、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

　　2、冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

　　3、使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

　　4、使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

　　5、炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

　　6、设备在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“M5、P、t”设置是否准确。