RTP快速退火炉一般都是以碘钨灯管为发热元件，升温速度极快，采用S型热电偶测温并采用的模糊PID控制，具有很高的控温精度<±5℃>，该炉具有真空装置，可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。标准配件需：高温手套1付，热电偶1根，石英管1根，真空法兰1套。可选配件：氧化铝坩埚，石英坩埚，真空泵。
该设备可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构，可将外表温度降到常温。均温区长，操作简便，密封可靠，综合性能指标较高，处于国内*水平。炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
产品用途：
主要应用于院校实验室、工矿企业实验室，如：薄膜沉积，可在真空、不同气氛、空气不同环境下，对样品进行快速热处理，不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
结构与配置：
该炉型具由我公司专业化设计制造的保温层，采用业内高标准的高纯陶瓷纤维高压模块，组成全纤维保温炉衬。
RTP快速退火炉的发热元件从材质到设计经过严格质量控制，能够极大提高加热效率，快速完成退火热处理工艺。在节能节电方面的优势更加突出，微电脑程序控制整个退火工艺过程，实时自动化计算退火工艺所需的功率，同比节能节电30-50%。
此炉适用于下列工作条件：
1、环境温度在-10～75℃之间。
2、周围环境的相对湿度不超过85%。
3、炉子周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。
4、没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。
产品特点：
1、可测大尺寸样品：可测单晶片样品的Zui大尺寸为4英寸（100mm）。
2、快速控温与高真空：Zui高升温速率可达100℃/s，真空度Zui高可达到10Pa。
3、程序设定与气路扩展：Zui多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。Zui多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。
4、全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。
5、超高安全系数：采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全面保障仪器使用安全。
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更新更新时间：2020-01-15
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