使用硅碳棒的气氛炉温度使用范围

气氛

影响

对策

推荐涂层

水蒸气和湿气

比在干燥大气中的使用寿命缩短1/5

新炉子试运行或者旧炉子长时间不工作再使用时，要先低温充分干燥后再升温。

U涂层

氢气

硅碳棒温度上升到1350℃以后电阻急速增加，机械强度也下降。而且根据气体干湿的不同寿命也差别很大。

建议在炉内温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小（5W/cm²）。

氮气

温度超过1400℃时氮气与碳化硅反应生成氮化硅，使硅碳棒变脆，寿命缩短。受露点的影响与氢气的状况相同

建议在炉内温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小（5W/cm²）。

N涂层

氨气（H₂75%）、（N₂25%）

与氢气、氮气的状况相同。

建议在炉内温度为1300℃以下的状态下使用。表面负荷尽量小。

N涂层

分解反应气体（N₂、CO、CO₂、H₂、CH₂混合物）

加热过程中硅碳棒表面附着分解后的碳黑，造成棒体疏松。

经常向炉内输送空气，让多余的碳燃烧。在炉子构造方面，保持硅碳棒间足够的间隔以防止短路。

N涂层

硫（S、SO₂）

硅碳棒温度升到1300℃以后，硅碳棒表面被侵蚀、电阻急剧增加。

将硅碳棒温度控制在1300℃以下。

N涂层

其他

由被处理物产生的各种物质，如铅、锑、碱金属的化合物与硅碳棒反应，使其寿命缩短。

预先将这些物质从处理物中除掉，炉内设排气口以便减弱其影响。

H涂层

S涂层