SPS等离子烧结炉 放电等离子体烧结技术的发展

　　zui初实现放电产生“等离子体”的人是以发现电磁感应法则而的法拉第(M.Farady)，他zui早发现在低压气体中放电可以分别观测到相当大的发光区域和不发光的暗区。

　　I.Langmuir又进一步对低压气体放电形成的发光区，即阳光柱深入研究，发现其中电子和正离子的电荷密度差不多相等，是电中性的，电子、离子基团作与其能量状态对应的振动。他在其发表的论文中，称这种阳光柱的状态为“等离子体”。

　　1930年，美国科学家提出利用等离子体脉冲电流烧结原理，但是直到1965年，脉冲电流烧结技术才在美、日等国得到应用。日本获得了SPS技术的，但当时未能解决该技术存在的生产效率低等问题，因此SPS技术没有得到推广应用。

　　SPS技术的推广应用是从上个世纪80年代末期开始的。

　　1988年日本研制出*台工业型SPS装置，并在新材料研究领域内推广应用。

　　1990年以后，日本推出了可用于工业生产的SPS第三代产品，具有10~100t的烧结压力和5000~8000A脉冲电流，其优良的烧结特性，大大促进了新材料的开发。

　　1996年，日本组织了产学官联合的SPS研讨会，并每年召开一次。

　　由于SPS技术具有快速、低温、率等优点，近几年国外许多大学和科研机构都相继配备了SPS烧结系统，应用金属、陶瓷、复合材料及功能材料的制备，并利用SPS进行新材料的开发和研究。

　　1998年瑞典购进SPS烧结系统，对碳化物、氧化物、生物陶瓷登材料进行了较多的研究工作。 目前*共有SPS装置100多台。如日本东北大学、大阪大学、美国加利福尼亚大学、瑞典斯德哥尔摩大学、新加坡南洋理工大学等大学及科研机构相继购置了SPS系统。

　　我国近几年也开展了利用SPS技术制备新材料的研究工作，引进了数台SPS烧结系统，主要用于纳米材料和陶瓷材料的烧结合成。

　　zui早在1979年，我国钢铁研究总院自主研发制造了国内*台电火花烧结机，用以批量生产金属陶瓷模具，产生了良好的社会经济效益。2000年6月武汉理工大学购置了*台SPS装置(日本住友石炭矿业株式会社生产，SPS-1050)。随后上海硅酸盐研究所、清华大学、北京工业大学和武汉大学等高校及科研机构也相继引进了SPS装置，用来进行相关的科学研究。SPS作为一种材料制备的全新技术，已引起了国内外的广泛重视。

　　2006年，国内真空电炉生产企业开始研制国产SPS烧结系统。经过我国科研人员，国产SPS于2009年研制出*台国产SPS烧结系统，在我国高校和科研机构得到应用且取得了较好的效果。